山東東儀光電儀器有限公司
? ? ? 長期以來,我國高端質譜儀核心部件——二次電子倍增器一直依賴進口,面臨供應受限、成本高昂的“卡脖子”困境。如今,這一局面已被打破。
? ? ? 山東東儀光電儀器有限公司經過持續攻關,成功自主研發高性能二次電子倍增器,并已完成小批量試制與性能驗證。該產品涵蓋單模式與雙模式兩種類型,可廣泛應用于磁質譜、四極桿質譜、飛行時間質譜等多種質譜儀中,實現離子信號的高靈敏度、低噪聲探測。
? ? ? 項目團隊通過結構仿真優化、高精度打拿極成型、薄膜發射層制備等關鍵技術突破,使產品在關鍵指標上達到甚至超越國際同類水平。其中,計數增益達1.2×109,響應時間進入納秒級,暗電流低于1pA,性能穩定可靠。
? ? ? 目前,該二次電子倍增器已在企業自研ICP-MS質譜儀中完成裝機驗證,表現出優異的靈敏度、穩定性和坪區特性,標志著我國在質譜檢測器領域邁出自主化、產業化關鍵一步。
? ? ? 東儀光電將持續推進該產品的量產工藝優化與產能提升,致力于為國內科研、工業檢測等領域提供高性能、高可靠性的國產化檢測器解決方案,助力中國精密儀器自主發展。